此工艺基于电腐蚀原理，通过工具电极和工件电极之间的一系列快速重复的脉冲放电，从工件上蚀除材料。电极和阳极之间被工作液分隔，并承受电压。其中一个电极被称为工具电极，或简称为“电极”，而另一个被称为阳极或“工件”。

为实现高质量的微孔加工，波萨勒克斯(Posalux) EDM 设备配备了一个可通过压力变形的倾斜头，控制孔的直径和形状，从而导致电极的跳动。电极在偏心轴上旋转，产生两个不同的间隙，一个用于火花腐蚀材料，另一个更大的间隙用于更好地冲洗被腐蚀的材料。结合数控机床驱动轴与微型 EDM 发生器通信的高速接口，可实现对微孔的精准加工。